外延片檢驗標(biāo)準(zhǔn)試題

（滿分100分，90分合格）

一、選擇題，每小題15分，合計75分

1、EDD內(nèi)控檢驗標(biāo)準(zhǔn)，缺陷包含哪些（）

A、標(biāo)準(zhǔn)<0.5cm-2 ,致命缺陷:“Triangles”&“Downfall”B、標(biāo)準(zhǔn)<0.5cm-2 ,致命缺陷:“Triangles”&“Downfall”&“Carrot”C、標(biāo)準(zhǔn)<0.3cm-2 ,致命缺陷:“Triangles”&“Downfall”D、標(biāo)準(zhǔn)<0.3cm-2 ,致命缺陷:“Triangles”&“Downfall”&“Carrot”

2、濃度參數(shù)的檢驗標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)（）

A、Tolerance(ave) ±6%，Tolerance (All points )±12%，Uniformity≤5%B、Tolerance(ave) ±8%，Tolerance (All points )±15%，Uniformity≤5%C、Tolerance(ave) ±6%，Tolerance (All points )±12%，Uniformity≤3%D、Tolerance(ave) ±8%，Tolerance (All points )±12%，Uniformity≤5%

3、厚度參數(shù)的檢驗標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)（）

A、Tolerance(ave) ±5%，Tolerance (All points )±10%，Uniformity≤3%B、Tolerance(ave) ±5%，Tolerance (All points )±10%，Uniformity≤5%C、Tolerance(ave) ±3%，Tolerance (All points )±10%，Uniformity≤6%D、Tolerance(ave) ±3%，Tolerance (All points )±10%，Uniformity≤3%

4、按內(nèi)控檢驗標(biāo)準(zhǔn)等級判定，以下說法正確的是（）

A、分為4個等級，等級分別為A級、B級、C級、D級B、分為3個等級，等級分別為A級、B級、C級C、分為3個等級，等級分別為A級、D級、E級D、分為3個等級，等級分別為A級、B級、E級

5、按內(nèi)控檢驗標(biāo)準(zhǔn)判定，以下說法正確的是（）

A、Tolerance(All points)計算方式:（所有點-目標(biāo)值）/目標(biāo)值;B、表面粗糙度的測試范圍為中間（20um*20um）區(qū)域C、外延片凈摻雜濃度和厚度值:取去邊5 mm的平均值;D、以上都正確

二、判定題，每小題5分，合計25分

1、劃傷<3mm的短劃傷，不列入累積劃傷長度計算

對錯

2、表面粗糙度檢測頻率，抽檢頻率，每爐按照每10片須抽測1片的頻率進行抽測，且保證每爐每天至少要抽測1片，及每個訂單的首件產(chǎn)品必須測試AFM、每臺機臺PM后的首件產(chǎn)品必須測試AFM。

對錯

3、客戶特殊要求或管控標(biāo)準(zhǔn)，依據(jù)CQE記錄的《客戶管控要求匯總》執(zhí)行

對錯

4、依據(jù) 《襯底采購和進貨檢驗標(biāo)準(zhǔn)》多型、包裹物不允許

對錯

5、《外延片檢驗標(biāo)準(zhǔn)》標(biāo)準(zhǔn)適用于4英寸、6英寸和8英寸的外延片。

對錯

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